德國EPK膜厚儀

型號

1100

2100

3100

4100

德國EPK膜厚儀MINITEST 存儲的數據量

應用行數(根據不同探頭或測試條件而記憶的校準基礎數據數)

1

1

10

99

每個應用行下的組(BATCH)數(對組內數據自動統計計算，并可設寬容度極限值)

1

10

99

可用各自的日期和時間標識特性的組數

1

500

500

數據總量

1

10000

10000

10000

MINITEST統計計算功能

讀數的六種統計值x,s,n,max,min,kvar

√

√

√

讀數的八種統計值x,s,n,max,min,kvar,Cp,Cpk

√

√

組統計值六種x,s,n,max,min,kvar

√

√

組統計值八種x,s,n,max,min,kvar,Cp,Cpk

√

√

存儲顯示每一個應用行下的所有組內數據

√

分組打印以上顯示和存儲的數據和統計值

√

√

顯示并打印測量值、打印的日期和時間

√

√

√

其他功能

設置極限值

√

√

連續測量模式快速測量，通過模擬柱識別大小值

√

√

連續測量模式中測量穩定后顯示讀數

√

√

連續測量模式中顯示小值

√

√

探頭

量程

低端
分辨率

誤差

小曲率半徑
(凸/凹)

小測量
區域直徑

小基
體厚度

探頭尺寸

磁
感
應
法

F05

0-500μm

0.1μm

±(1%±0.7μm)

1/5mm

3mm

0.2mm

φ15x62mm

F1.6

0-1600μm

0.1μm

±(1%±1μm)

1.5/10mm

5mm

0.5mm

φ15x62mm

F1.6/90

0-1600μm

0.1μm

±(1%±1μm)

平面/6mm

5mm

0.5mm

φ8x8x170mm

F2/90

0-2000μm

0.2μm

±(1%±1μm)

平面/6mm

5mm

0.5mm

φ8x8x170mm

F3

0-3000μm

0.2μm

±(1%±1μm)

1.5/10mm

5mm

0.5mm

φ15x62mm

F10

0-10mm

5μm

±(1%±10μm)

5/16mm

20mm

1mm

φ25x46mm

F20

0-20mm

10μm

±(1%±10μm)

10/30mm

40mm

2mm

φ40x66mm

F50

0-50mm

10μm

±(3%±50μm)

50/200mm

300mm

2mm

φ45x70mm

兩
用
 

FN1.6

0-1600μm

0.1μm

±(1%±1μm)

1.5/10mm

5mm

F0.5mm/N50μm

φ15x62mm

FN1.6P

0-1600μm

0.1μm

±(1%±1μm)

平面

30mm

F0.5mm/N50μm

φ21x89mm

FN2

0-2000μm

0.2μm

±(1%±1μm)

1.5/10mm

5mm

F0.5mm/N50μm

φ15x62mm

電
渦
流
法

N02

0-200μm

0.1μm

±(1%±0.5μm)

1/10mm

2mm

50μm

φ16x70mm

N.08Cr

0-80μm

0.1μm

±(1%±1μm)

2.5mm

2mm

100μm

φ15x62mm

N1.6

0-1600μm

0.1μm

±(1%±1μm)

1.5/10mm

2mm

50μm

φ15x62mm

N1.6/90

0-1600μm

0.1μm

±(1%±1μm)

平面/10mm

5mm

50μm

φ13x13x170mm

N2

0-2000μm

0.2μm

±(1%±1μm)

1.5/10mm

5mm

50μm

φ15x62mm

N2/90

0-2000μm

0.2μm

±(1%±1μm)

平面/10mm

5mm

50μm

φ13x13x170mm

N10

0-10mm

10μm

±(1%±25μm)

25/100mm

50mm

50μm

φ60x50mm

N20

0-20mm

10μm

±(1%±50μm)

25/100mm

70mm

50μm

φ65x75mm

N100

0-100mm

100μm

±(1%±0.3mm)

100mm/平面

200mm

50μm

φ126x155mm

CN02

10-200μm

0.2μm

±(1%±1μm)

平面

7mm

無限制

φ17x80mm